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消息稱美國環(huán)境保護局擬結(jié)束“能源之星”節(jié)能認證
已啟用30余年。
楊亮
12小時前
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安徽富樂德科技推出新型半導體不銹鋼TTN膜清洗裝置
安徽富樂德科技推出新型半導體不銹鋼TTN膜清洗裝置
2025-01-01 15:54:02
天眼查App顯示，安徽富樂德科技發(fā)展股份有限公司近日公開了一項名為“一種半導體不銹鋼TTN膜的清洗裝置及工藝”的發(fā)明專利，專利號為CN202411682224.5。該技術(shù)由李帥雨、賀賢漢和張繼月共同發(fā)明，旨在提高半導體不銹鋼TTN膜的清洗效率和效果。
該清洗裝置包括自動機械臂、浸泡籃以及按工藝步驟順序設置的化學混液浸泡槽一、純水漂洗槽、高壓水洗槽、化學混液浸泡槽二、純水浸泡槽和吹干槽。自動機械臂設置在所有槽體的上方，工作端連接浸泡籃，實現(xiàn)了自動化操作，減少了人工干預。
化學混液浸泡槽一和化學混液浸泡槽二內(nèi)設有超聲波振板，利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體間接使污物層被分散、剝離而達到清洗目的。高壓水洗槽內(nèi)設有高壓水洗噴嘴，吹干槽內(nèi)設有CDA高壓噴嘴，確保清洗后的部件能夠快速干燥。
該裝置采用了閉環(huán)流程作業(yè)，保證部件清洗的有效性。清洗槽采用了外循環(huán)過濾裝置，保證循環(huán)的藥液的干凈，內(nèi)部采用的防腐超聲波振板，進一步提高了清洗效果。整個清洗裝置由浸泡槽、純水槽、高壓水洗、CDA吹掃等組成，部件在浸泡籃不再通過人工進行搬送和清洗，選擇好需要的作業(yè)槽體，設備可以快速完成搬送和作業(yè)。
該專利的公開標志著安徽富樂德科技在半導體清洗技術(shù)領(lǐng)域取得了重要突破，有望在未來的半導體制造過程中發(fā)揮重要作用。
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