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天眼查App顯示，近日，浙江求是半導(dǎo)體設(shè)備有限公司與浙江晶盛機電股份有限公司聯(lián)合研發(fā)的“圖像采集裝置、硅片檢測設(shè)備和硅片檢測方法”獲得國家發(fā)明專利授權(quán)。該技術(shù)通過創(chuàng)新的圖像采集裝置設(shè)計，能夠在保證圖像像素精度的同時，大幅提升硅片檢測的效率。

據(jù)悉，該圖像采集裝置包括機架和至少一個線掃檢測單元。硅片輸送線沿硅片組的運輸方向貫穿機架，線掃檢測單元的鏡頭拍攝方向平行于硅片組的運輸平面，能夠沿豎直方向采集硅片組的邊沿圖像。這一設(shè)計不僅簡化了檢測流程，還提高了缺陷檢測的準確性。

該技術(shù)的應(yīng)用將有助于半導(dǎo)體制造企業(yè)提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。浙江求是半導(dǎo)體設(shè)備有限公司表示，未來將繼續(xù)加大研發(fā)投入，推動半導(dǎo)體檢測技術(shù)的進一步發(fā)展。

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