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浙江企業(yè)推出新型硅片檢測(cè)技術(shù),提升半導(dǎo)體制造效率

天眼查App顯示,近日,浙江求是半導(dǎo)體設(shè)備有限公司與浙江晶盛機(jī)電股份有限公司聯(lián)合研發(fā)的“圖像采集裝置、硅片檢測(cè)設(shè)備和硅片檢測(cè)方法”獲得國家發(fā)明專利授權(quán)。該技術(shù)通過創(chuàng)新的圖像采集裝置設(shè)計(jì),能夠在保證圖像像素精度的同時(shí),大幅提升硅片檢測(cè)的效率。

據(jù)悉,該圖像采集裝置包括機(jī)架和至少一個(gè)線掃檢測(cè)單元。硅片輸送線沿硅片組的運(yùn)輸方向貫穿機(jī)架,線掃檢測(cè)單元的鏡頭拍攝方向平行于硅片組的運(yùn)輸平面,能夠沿豎直方向采集硅片組的邊沿圖像。這一設(shè)計(jì)不僅簡(jiǎn)化了檢測(cè)流程,還提高了缺陷檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

該技術(shù)的應(yīng)用將有助于半導(dǎo)體制造企業(yè)提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。浙江求是半導(dǎo)體設(shè)備有限公司表示,未來將繼續(xù)加大研發(fā)投入,推動(dòng)半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展。

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