国产一区高清|日韩精品一区人妻|曰夲AV一区二区|美日韩一区二区三区|国产喷水在线观看|狼友网站成人大全|欧美日韩制服中文视频在线|久草加勒比手机在线|婷婷色综合无码专区|japanese 精品视频在线观看

天眼查App顯示，近日，安徽大學(xué)與合肥晶合集成電路股份有限公司聯(lián)合研發(fā)的“用于金屬填充質(zhì)量檢測的測試結(jié)構(gòu)和測試方法”正式獲得發(fā)明專利，專利號(hào)為CN202411738884.0。該技術(shù)通過改進(jìn)測試結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了多種金屬填充質(zhì)量的工藝窗口同時(shí)檢測，為電化學(xué)電鍍工藝提供了更優(yōu)的解決方案。

該測試結(jié)構(gòu)包括多個(gè)測試單元，每個(gè)測試單元由第一金屬層、第二金屬層和金屬連接通道組成。第二金屬層位于第一金屬層的上方，兩者通過金屬連接通道連接，且第二金屬層和金屬連接通道通過金屬填充一體成形，采用電化學(xué)電鍍工藝進(jìn)行金屬填充。不同的測試單元中，第二金屬層的周長不同，通過測試單元電阻值的測試來檢測不同的測試單元中金屬填充的質(zhì)量。

該技術(shù)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)由李典、伍林玲和陳冠中組成，他們通過改進(jìn)測試結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了多種具有不同金屬填充質(zhì)量的工藝窗口的同時(shí)檢測，從而能夠較為便捷地確定采用電化學(xué)電鍍工藝進(jìn)行金屬填充時(shí)的最優(yōu)窗口。這一技術(shù)的應(yīng)用將有助于提高集成電路制造中金屬填充工藝的效率和精度，推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

風(fēng)險(xiǎn)警告：本文根據(jù)網(wǎng)絡(luò)內(nèi)容由AI生成，內(nèi)容僅供參考，不應(yīng)作為專業(yè)建議或決策依據(jù)。用戶應(yīng)自行判斷和驗(yàn)證信息的準(zhǔn)確性和可靠性，本站不承擔(dān)可能產(chǎn)生的任何風(fēng)險(xiǎn)和責(zé)任。內(nèi)容如有問題，可聯(lián)系本站刪除。