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天眼查App顯示，華海清科股份有限公司于2024年10月31日公開了一項(xiàng)名為“用于晶圓加工的承載頭、化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備”的發(fā)明專利，專利號(hào)為CN202411538286.9。該專利由路新春、王宇和張洪蛟共同發(fā)明，旨在解決傳統(tǒng)晶圓拋光設(shè)備中彈性膜易變形的問題。

該承載頭包括主體部、第一彈性膜和第二彈性膜。第一彈性膜與主體部的朝向晶圓的表面連接，并與主體部之間限定出中心腔體和多個(gè)環(huán)形腔體。中心腔體與多個(gè)環(huán)形腔體均與第一通氣管路連通，使第一彈性膜能夠吸附和松脫晶圓。多個(gè)環(huán)形腔體中的至少一個(gè)朝向晶圓的表面設(shè)有多個(gè)氣孔，第二彈性膜位于具有多個(gè)氣孔的環(huán)形腔體內(nèi)，能夠膨脹和收縮以封堵和敞開氣孔。

該設(shè)計(jì)的關(guān)鍵在于，當(dāng)?shù)诙椥阅づ蛎洉r(shí)，其與環(huán)形腔體的內(nèi)壁無(wú)接觸，從而避免了第二彈性膜充氣膨脹與第一彈性膜接觸，導(dǎo)致第一彈性膜發(fā)生變形。這一創(chuàng)新設(shè)計(jì)不僅提高了晶圓拋光的精度，還顯著提升了設(shè)備的穩(wěn)定性和使用壽命。

華海清科股份有限公司位于天津市津南區(qū)咸水沽鎮(zhèn)聚興道11號(hào)，專注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)與制造。此次公開的專利技術(shù)預(yù)計(jì)將廣泛應(yīng)用于晶圓制造領(lǐng)域，為半導(dǎo)體行業(yè)帶來新的技術(shù)突破。

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