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天眼查App顯示，近日，江蘇亨芯石英科技有限公司與江蘇亨通光電股份有限公司聯(lián)合研發(fā)的“一種大尺寸方形掩膜板坯的沉積裝置及方法”獲得發(fā)明專利，專利號為CN202411427244.8。該技術(shù)于2024年12月31日正式公布，標志著兩家公司在掩膜板坯制造領(lǐng)域取得了重要突破。

該發(fā)明通過反應(yīng)室、模具池、模具托等核心組件，結(jié)合生產(chǎn)燃燒器和均熱燃燒器的協(xié)同作用，實現(xiàn)了大尺寸方形掩膜板坯的一步沉積。與傳統(tǒng)工藝相比，該技術(shù)簡化了產(chǎn)品制備工序，減少了材料損耗，顯著降低了生產(chǎn)成本。

據(jù)專利摘要介紹，該裝置通過運動系統(tǒng)驅(qū)動模具池沿水平方向往復(fù)移動，確保掩膜板坯的均勻沉積和高溫軟化攤平。這一創(chuàng)新不僅提高了生產(chǎn)效率，還為掩膜板坯的后續(xù)加工提供了更高的精度和一致性。

江蘇亨芯石英科技有限公司和江蘇亨通光電股份有限公司表示，該技術(shù)的成功研發(fā)將進一步推動掩膜板坯制造行業(yè)的技術(shù)進步，為相關(guān)領(lǐng)域的高質(zhì)量發(fā)展提供有力支持。

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