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天眼查App顯示，近日，江蘇亨芯石英科技有限公司與江蘇亨通光電股份有限公司共同宣布，他們成功開發(fā)了一種創(chuàng)新的光掩模石英基板制備系統(tǒng)及方法。這項技術(shù)通過將燒結(jié)爐與槽沉爐一體化設(shè)計，實現(xiàn)了石英棒在燒結(jié)后直接進行槽沉整形，從而有效縮短了生產(chǎn)周期，降低了生產(chǎn)成本。

該系統(tǒng)的核心在于其獨特的驅(qū)動機構(gòu)和槽沉模具設(shè)計。驅(qū)動機構(gòu)通過吊掛驅(qū)動石英棒下降，使其在燒結(jié)區(qū)致密化后進入槽沉爐，由底部開始逐漸熔融攤開在槽沉模具內(nèi)。這一設(shè)計避免了因石英棒長徑比過大導(dǎo)致的折疊、傾倒等問題，進而減少了產(chǎn)品中出現(xiàn)條紋、氣泡、均勻性差以及應(yīng)力大的情況。

據(jù)悉，這項技術(shù)不僅實現(xiàn)了大尺寸、低缺陷、高性能、高純度產(chǎn)品的生產(chǎn)，還可廣泛應(yīng)用于IC光掩膜基板的開發(fā)。江蘇亨芯石英科技有限公司表示，他們將繼續(xù)致力于技術(shù)創(chuàng)新，為行業(yè)提供更高效、更可靠的解決方案。

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